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幾秒內(nèi)!顯微鏡投影光刻實(shí)現(xiàn)高分辨率制造
行業(yè)新聞
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2021-02

集成的光信號(hào)想要實(shí)現(xiàn)多種功能,都離不開基本光學(xué)元件的小型化,例如波導(dǎo)、分路器、光柵和光開關(guān)。這也意味著需要一種能實(shí)現(xiàn)高分辨率制造的方法。

目前已存在幾種用于亞波長高分辨率制造的技術(shù),例如直接激光寫入、多光子光刻、電子束光刻、離子束光刻和多米諾骨牌光刻,然而,這些技術(shù)均成本高昂、復(fù)雜且耗時(shí)。納米壓印光刻雖然非常適合高分辨率與高效制,但是它同時(shí)也需要高質(zhì)量的“母機(jī)”。

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